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臭氧在半导体晶片清洗工艺中的应用
近年来,在半导体工业中,逐渐确立了将臭氧运用于晶圆清洗工艺中,这主要是利用了臭氧在水相中氧化有机污染物和金属污染物的性能。臭氧在半导体工业中的应用主要包括了:✔湿法清洗✔干法清洗✔CVD化学气相沉积✔疏水性✔TEOS正硅酸乙酯臭氧在半导体工业清洗中的应用1. 晶片生产过程晶片是晶体的薄片,由纯硅(=硅)生长而成,用于生产电子元件,例如集成电路(IC)。硅本身不导电,必须将其他离子引入其基质以使其导电(离子注入)。晶体结构的这些变化以复杂的几何图案进行,以实现所需的导电性能。上图显示了晶片生产的简易过程。①氧化:在硅晶片(SiO2)..
臭氧在半导体工业中的应用
在过去的几年中,臭氧在半导体工业的应用越来越受到重视,特别是在晶圆清洗过程。在半导体行业,清洁度是一个绝对的要求。即使是很小的污染物痕迹也会导致晶圆表面区域结构的改变。自80年代末以来,在芯片生产中采用臭氧的清洁工艺已经被使用。随着修改和新方法的开发,人们的兴趣继续增长。每个晶圆处理步骤都是潜在的污染源,每个步骤都有其特定类型的污染物。这意味着一个有效的清洗过程包括几个清洗步骤,以去除晶体上的所有污染物。同时“绝对清洁”的行业要求扩展到设备(臭氧发生器,接触到的设备),这意味着不会产生颗粒,没有金属,离子或有机..
ISO 23741标准介绍
ISO 23741标准量化了氙灯老化测试中的水喷淋输送量翁开尔40年专业代理的美国Q-LAB最近宣布,ISO(国际标准组织)最近发布了全新的标准ISO 23741-塑料——在使用氙灯老化试验箱中的喷雾循环中的喷水量(ISO 23741 - Plastics — Determination of spray water delivery during spray cycles when using a xenon arc weathering test apparatus) ISO 23741标准为使用氙灯老化试验箱的用户提供了一种标准量化的方法,用于量化氙灯老化测试中对试样进行水喷淋的喷水量。ISO 23741标准适用于任何氙灯老化试验箱,无论是转鼓式还是平板式。辐照度和温度..
金属卤素灯与氙灯的区别
金属卤化物灯是一种放电灯,具有长寿命和良好的显色性。它们是工厂照明、工业仓库和零售店最常见的灯型。这种灯被称为 "金属卤化物",因为一种金属和碘的化合物被称为 "金属卤化物 "盐。氙灯由一个充满氙气的玻璃管组成,在两个电极之间产生放电。目前,各种类型的灯被广泛运用于模拟太阳光,包括碳弧灯,金属卤素灯,氙灯,高压钠灯等等。实验证明,金属卤素灯和氙灯占主导地位,因为两者都能提供与太阳能输出相匹配的良好光谱。那么金属卤素灯和氙灯有什么区别呢?应该怎么选择呢?金属卤素灯 VS 氙灯灯型优势劣势金属卤素灯●适..
零部件清洁度和涂层厚度测量技术,实现工业实践中表面预处理和油漆应用的质量保证
2021年5月12号,涂魔师Coatmaster,安捷莱RJL和析塔SITA这三家公司将一起举办“零部件清洁度和涂层厚度测量技术,实现工业实践中表面预处理和油漆应用的质量保证”网络研讨会。涂层厚度是保证涂层工艺质量的重要因素。然而在涂层喷涂之前,工艺生产或者清洁过程中的薄膜或微粒污染都将引起涂层的缺陷。除了监控工艺相关的涂层厚度外,在喷涂之前检测零部件的表面清洁度,确保涂层的较佳效果,满足日益增长的客户要求。此次网络研讨会,安捷莱RJL和析塔SITA这三家公司将介绍监测微小颗粒和薄膜污染以及涂层厚度的测量技术,同时还将展示典型的应用实例..
德国VMA高速分散机在电池浆料高速分散研磨上的应用
德国VMA Dispermat高效分散研磨设备,集分散搅拌、研磨、均质、乳化于一体,高效的分散研磨技术能协助制造企业生产高均匀性且细度低的电池浆料。电池浆料是整个电池极片制备过程中的最关键的因素。电池浆料是由活性物质、粘结剂、导电剂通过搅拌均匀分散于溶剂中形成,属于典型的高粘稠的固液两相悬浮体系。对电池浆料有的分散均匀性有严格要求。如果浆料分散不均,有严重的团聚现象,电池的电化学性能受到影响。如若导电剂分布不均匀,电极在充放电过程中,各处电导率不同会发生不同的电化学反应,负极处可能产生较复杂的SEI膜,可..
什么是Q-LAB氙灯?
Q-LAB氙灯是一种用于模拟自然光和人工气候条件的实验室设备。它可以模拟阳光、雨水、霜冻、湿度等不同的环境条件,用于评估材料、涂层、颜料等在不同气候条件下的性能和耐久性。工作原理Q-LAB氙灯的工作原理是通过将氙气灯管充入氙气并加以电离,使其产生紫外线、可见光和红外线等光谱范围内的光线,模拟自然光谱。其光谱分布与阳光的光谱分布相似,且辐射强度可以控制,使其能够精确地模拟不同地区和不同季节的日照条件。符合标准符合标准方面,Q-LAB氙灯通常符合多个国际和国家标准,如ISO、ASTM、SAE、JIS等。例如,ASTM G155标准规定了用氙灯进..
HNP微环形齿轮泵网站专题上线
  德国HNP公司微环形齿轮泵专题目前已经上线。德国HNP公司是目前知名的微环形齿轮泵生产厂家之一, 总部位于德国帕尔希姆基地,旗下生产的泵系列产品被广泛的应用于的化工、科研、航空、医药等领域。  为了方便更逗中国地区的用户了解更多关于德国HNP公司微量泵系列的产品, 目前HNP微环形齿轮泵的中文专题站点已经建立完成,并且投入使用,网站地址为http://hnp.hjun.cn/。网站内容包括HNP公司简介、产品应用及HNP公司的泵系列产品。  欢迎广大用于登录浏览,并且为我们提供宝贵的意见。
全球使用最广泛的老化测试设备介绍
QUV-全球使用最广泛的老化测试设备QUV全球范围的广泛使用无论是小的还是大的实验室都在广泛使用 QUV,来进行各行业实验室加速老化测试,如涂料、纺织、屋顶、胶粘剂、塑料和油墨行业等。设备用于执行众多的国际、国家和工业标准。拥有老式 QUV 型号的满意客户更新升级他们的设备。目前拥有千计的测试者,无论是老型号还是新型号,QUV 仍然是老化领域的国际先进者。从传统的拨盘式的“棕色控制面板”,到 2008 款的最新微处理器控制和数字显示的“蓝色控制面板”,QUV 加速老化试验机一直保持着它作为,全球使用最广泛的老化测试设备无可撼动的地位..